超快皮秒激光打标机

详细说明

超快皮秒激光打标机NXD-M2是一款专为半导体行业设计的高精度全自动超快激光打标机，采用国产定制皮秒激光器和德国 SCANLAB 品牌振镜系统，能够在 8 英寸硅片、玻璃、石英、陶瓷等多种硬脆材料基片上进行文字、数字、字母、图形等高精度打标。设备集成了 8 英寸晶圆自动上下料模块和机器视觉自动识别对位系统，实现了从晶圆上料、定位、打标到下料的全自动化流程，满足半导体制造对高精度、高可靠性和高自动化程度的要求。

最小脉宽≤15ps

平均功率不小于10W

光束质量M²＜1.3

★（2）打标深度可调；

★（3）自动识别，自动对位；

★（4）打标精度≤20μm。

★（5）配置8英寸晶圆自动上下料模块

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